精密機器換気要件のアップグレード:DCブロワーのダストプルーフおよび干渉防止パフォーマンスの利点
精密機器の換気システムの特別な要件 現代の精密機器の作業環境制御は、従来の温度調節の範囲をはるかに超えています。半導体製造装置では、 DCブロワー ±0.5°Cの一定温度精度を維持する必要があるだけでなく、気流の粒子サイズが0.1μmを超える粒子サイズの粒子物質の濃度が100粒子/立方メートル未満であることを確認する必要があります。このほとんど要求のある要件は、ブロワーテクノロジーを超クリーン性に向けて駆り立てます。大手チップメーカーのテストデータは、新しいダストプルーフ設計を備えたDCブロワーがウェーハ汚染率を40%減らし、降伏率を2.3パー...
